{"id":4578,"date":"2021-11-23T15:30:13","date_gmt":"2021-11-23T14:30:13","guid":{"rendered":"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/?p=4578"},"modified":"2021-11-23T15:30:06","modified_gmt":"2021-11-23T14:30:06","slug":"verfahren-der-oberflaechenanalyse","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/verfahren-der-oberflaechenanalyse\/","title":{"rendered":"Verfahren der Oberfl\u00e4chenanalyse"},"content":{"rendered":"<p style=\"text-align: justify;\"><strong>Mit den verschiedenen Verfahren der Oberfl\u00e4chenanalyse lassen sich chemische und strukturelle Eigenschaften der Oberfl\u00e4chen von Werkst\u00fccken ermitteln. Das wird vor allem bei der Forschung und Entwicklung und bei der Qualit\u00e4tssicherung in der <\/strong><a href=\"https:\/\/kluthe.com\/produkte\/oberflaechenvorbehandlung\/\"><strong>Oberfl\u00e4chentechnik<\/strong><\/a><strong> genutzt. Lesen Sie hier, welche M\u00f6glichkeiten die Oberfl\u00e4chenanalytik bietet.<\/strong><\/p>\n<h2>Grundprinzipen der Oberfl\u00e4chenanalyse<\/h2>\n<p style=\"text-align: justify;\">Die Verfahren der Oberfl\u00e4chenanalyse beruhen darauf, dass die Atome und Molek\u00fcle der Werkstoffe mit auftreffender Strahlung oder auftreffenden Teilchen interagieren. Das Grundprinzip erschlie\u00dft sich, wenn wir uns vor Augen f\u00fchren, wie wir sehen. Das sichtbare wei\u00dfe Licht besteht aus elektromagnetischen Wellen mit Wellenl\u00e4ngen von 380 nm bis 780 nm. Im Regenbogen f\u00e4chern sich die Wellen auf und werden als einzelne Farben wahrgenommen. Die kurzen Wellen sehen violett aus, die langen sind rot. Weil die Oberfl\u00e4chen der Gegenst\u00e4nde in unserer Umgebung die einzelnen Wellen unterschiedlich verschlucken (absorbieren), zur\u00fcckstrahlen (reflektieren) oder hindurchlassen (transmittieren), erkennen wir unsere Umgebung.<\/p>\n<figure id=\"attachment_4585\" aria-describedby=\"caption-attachment-4585\" style=\"width: 850px\" class=\"wp-caption aligncenter\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"wp-image-4585 size-full\" title=\"Licht ist die Grundlage daf\u00fcr, dass wir Materialien sehen k\u00f6nnen - unser Gehirn interpretiert die reflektierenden Lichtstrahlen\" src=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Licht-Prisma-Regenbogen.jpg\" alt=\"Symbolbild eines Prismas welches wei\u00dfes Licht in alle Farben aufteilt - Verfahren der Oberfl\u00e4chenanalyse\" width=\"850\" height=\"567\" srcset=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Licht-Prisma-Regenbogen.jpg 850w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Licht-Prisma-Regenbogen-300x200.jpg 300w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Licht-Prisma-Regenbogen-768x512.jpg 768w\" sizes=\"(max-width: 850px) 100vw, 850px\" \/><figcaption id=\"caption-attachment-4585\" class=\"wp-caption-text\">\u00a9 anuwat &#8211; stock.adobe.com<\/figcaption><\/figure>\n<p style=\"text-align: justify;\">Da wir zwei Augen haben, die dem Gehirn unterschiedliche Bilder liefern, k\u00f6nnen wir r\u00e4umlich sehen. Was wir nicht sehen k\u00f6nnen, sind die Strahlen mit geringeren Wellenl\u00e4ngen (UV-Strahlung, R\u00f6ntgenstrahlung, Gammastrahlung) oder gr\u00f6\u00dferen Wellenl\u00e4ngen (W\u00e4rmestrahlung). Die reagieren beim Auftreffen auf eine Oberfl\u00e4che genauso, wie das Licht. Ger\u00e4te der Oberfl\u00e4chenanalytik erzeugen daraus \u2013 wie unser Gehirn \u2013 Bilder oder sie leiten daraus Informationen \u00fcber die Materialeigenschaften ab.<\/p>\n<p style=\"text-align: justify;\">\u00c4hnlich wie das Licht verhalten sich Murmeln, die auf Oberfl\u00e4chen treffen. Je nach Werkstoff bleiben sie stecken (Absorption), werden zur\u00fcckgesto\u00dfen (Reflexion) oder fliegen hindurch (Transmission). Im Werkstoff k\u00f6nnen sich dabei Schwingungen ausbreiten. Au\u00dferdem k\u00f6nnen Teile der Oberfl\u00e4che abgesprengt werden. Das alles passiert auch, wenn f\u00fcr das Auge nicht wahrnehmbare Elementarteilchen (Elektronen, Photonen) mit hoher Geschwindigkeit auf Material prallen. Bei der Oberfl\u00e4chenanalyse werden die Interaktionen erfasst und ausgewertet. Es entstehen Bilder und Informationen \u00fcber die Materialeigenschaften.<\/p>\n<figure id=\"attachment_4606\" aria-describedby=\"caption-attachment-4606\" style=\"width: 850px\" class=\"wp-caption aligncenter\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"wp-image-4606\" title=\"Den Grundlagen der Materie geht man am CERN in Genf auf den Grund \" src=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/CERN-Collider.jpg\" alt=\"CERN Teilchenbeschleuniger - Verfahren der Oberfl\u00e4chenanalyse\" width=\"850\" height=\"638\" srcset=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/CERN-Collider.jpg 800w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/CERN-Collider-300x225.jpg 300w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/CERN-Collider-768x576.jpg 768w\" sizes=\"(max-width: 850px) 100vw, 850px\" \/><figcaption id=\"caption-attachment-4606\" class=\"wp-caption-text\">Von Justin Pickard &#8211; Flickr: https:\/\/flic.kr\/p\/dTKi1A, CC BY-SA 2.0, https:\/\/commons.wikimedia.org\/w\/index.php?curid=48127269<\/figcaption><\/figure>\n<h2>\u00dcberblick \u00fcber wichtige Verfahren<\/h2>\n<p>Zu den wichtigsten Methoden der Oberfl\u00e4chenanalyse z\u00e4hlen<\/p>\n<ul>\n<li>R\u00f6ntgenspektroskopie (XRF, EDX, WDX, XPS, XAS, XES PIXE)<\/li>\n<li>Rasterelektronenmikroskopie (REM)<\/li>\n<li>Augerelektronenspektroskopie (AES)<\/li>\n<li>Sekund\u00e4rionen-Massenspektroskopie (SIMS)<\/li>\n<li>Nukleare Reaktionsanalyse (NRA)<\/li>\n<li>Infrarot-Spektroskopie<\/li>\n<li>Ellipsometrie<\/li>\n<\/ul>\n<p>Im Folgenden soll kurz erl\u00e4utert werden, wie diese Analysemethoden funktionieren.<\/p>\n<h3>R\u00f6ntgenspektroskopie<\/h3>\n<p style=\"text-align: justify;\">R\u00f6ntgenstrahlen k\u00f6nnen Werkstoffe durchdringen. Sie entstehen, wenn schnelle Elektronen beim Auftreffen auf Oberfl\u00e4chen abgebremst werden. Die Oberfl\u00e4chenanalyse nutzt diesen physikalischen Prozess, in dem sie die R\u00f6ntgenstrahlen auf den Werkstoffoberfl\u00e4chen erzeugt. Dabei wird ein Elektronenstrahl, auch Kathodenstrahl genannt, auf die Werkstoffoberfl\u00e4che gerichtet und die daraus resultierende R\u00f6ntgenstrahlung erfasst, die charakteristisch f\u00fcr die verschiedenen chemischen Stoffe ist. Die einzelnen Verfahren unterscheiden sich durch die Intensit\u00e4t, die Erzeugung und den Auftreffwinkel des Elektronenstrahls sowie durch die Auswertung der resultierenden Strahlung.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-4587\" title=\"Tragbarer RFA-Analysator mit einem Siliziumdriftdetektor\" src=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Tragbarer-RFA-Analysator-mit-einem-Siliziumdriftdetektor.jpg\" alt=\"Tragbarer RFA-Analysator mit einem Siliziumdriftdetektor - Verfahren der Oberfl\u00e4chenanalyse\" width=\"850\" height=\"566\" srcset=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Tragbarer-RFA-Analysator-mit-einem-Siliziumdriftdetektor.jpg 800w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Tragbarer-RFA-Analysator-mit-einem-Siliziumdriftdetektor-300x200.jpg 300w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Tragbarer-RFA-Analysator-mit-einem-Siliziumdriftdetektor-768x512.jpg 768w\" sizes=\"(max-width: 850px) 100vw, 850px\" \/><\/p>\n<p style=\"text-align: justify;\">Derartige Methoden sind die R\u00f6ntgenfluoreszenzanalyse (XRF), die Energiedispersive R\u00f6ntgenspektroskopie (EDX), die Wellenl\u00e4ngendispersive R\u00f6ntgenspektroskopie (WDX), die Photoelektronenspektroskopie (XPS), die R\u00f6ntgenabsorptionsspektroskopie (XAS), die R\u00f6ntgenemissionsspektroskopie (XES) und die Protoninduzierte R\u00f6ntgenspektroskopie (PIXE). Mit ihrer Hilfe l\u00e4sst sich die qualitative und quantitative chemische Zusammensetzung der oberen Bereiche einer Probe bis auf wenige Milligramm pro Kilogramm (ppm, parts per million) genau bestimmen. Die Auswahl eines geeigneten Verfahrens richtet sich haupts\u00e4chlich nach der Art und Gr\u00f6\u00dfe der Atome oder Molek\u00fcle, die nachgewiesen werden sollen. In der Oberfl\u00e4chentechnik dienen die Methoden zum Beispiel dazu, die Zusammensetzung von Beschichtungen zu analysieren und zum Nachweis von Verunreinigungen durch geringf\u00fcgige R\u00fcckst\u00e4nde von <a href=\"https:\/\/kluthe.com\/produkte\/kuehlschmierstoffe\/\">Schmierstoffen<\/a> oder <a href=\"https:\/\/kluthe.com\/produkte\/industrielle-teilereinigung\/\">Reinigungsmitteln<\/a>.<\/p>\n<h3>Rasterelektronenmikroskopie<\/h3>\n<p style=\"text-align: justify;\">Bei der Rasterelektronenmikroskopie tastet ein Elektronenstrahl systematisch bestimmte Oberfl\u00e4chenbereiche einer Probe ab. Dabei regt er die Atome an der Werkstoffoberfl\u00e4che an, Elektronen aus ihrer H\u00fclle abzugeben. Diese werden im Unterschied zu den Prim\u00e4relektronen des Strahls als Sekund\u00e4relektronen bezeichnet. Die Sekund\u00e4relektronen werden von einem Detektor erfasst, der ein stark vergr\u00f6\u00dfertes Bild der Probenoberfl\u00e4che liefert. Das Aufl\u00f6sungsverm\u00f6gen l\u00e4sst sich bei den meisten Rasterelektronenmikroskopen stufenlos einstellen und kann bis zu 1 nm bis 2 nm betragen. Da bei diesem Verfahren der Oberfl\u00e4chenanalyse auch R\u00f6ntgenstrahlung entsteht, l\u00e4sst es sich mit der R\u00f6ntgenspektroskopie und verwandten Verfahren kombinieren. Einsatzgebiete sind unter anderem die Untersuchung von Werkstoffgef\u00fcgen, das Ermitteln der Ursachen von Haftungsproblemen bei Beschichtungen oder das Analysieren von Verunreinigungen und Korrosionsprodukten auf Werkstoffoberfl\u00e4chen.<\/p>\n<figure id=\"attachment_4590\" aria-describedby=\"caption-attachment-4590\" style=\"width: 850px\" class=\"wp-caption aligncenter\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"wp-image-4590\" title=\"Nanopartikel des chemischen Elements Selen\" src=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Selen-Nanopartikel.jpg\" alt=\"Nanopartikel des chemischen Elements Selen\" width=\"850\" height=\"638\" srcset=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Selen-Nanopartikel.jpg 800w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Selen-Nanopartikel-300x225.jpg 300w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Selen-Nanopartikel-768x576.jpg 768w\" sizes=\"(max-width: 850px) 100vw, 850px\" \/><figcaption id=\"caption-attachment-4590\" class=\"wp-caption-text\">Von Muderkind &#8211; Eigenes Werk, CC-BY 4.0, https:\/\/commons.wikimedia.org\/w\/index.php?curid=102706679<\/figcaption><\/figure>\n<h3>Augerelektronenspektroskopie<\/h3>\n<p style=\"text-align: justify;\">Die Augerelektronenspektroskopie beruht darauf, dass energiereiche Elektronen-, R\u00f6ntgen- und UV-Strahlung Elektronen aus den Atomh\u00fcllen des Werkstoffs herausschleudern k\u00f6nnen. Die Bewegungsenergie dieser Elektronen gibt Auskunft \u00fcber die chemische Zusammensetzung des Materials, aus dem sie stammen. Erfasst werden bei dieser Methode der Oberfl\u00e4chenanalyse etwa die obersten zehn Atomschichten auf der Oberfl\u00e4che. So lassen sich Verunreinigungen mit einer Gr\u00f6\u00dfe von 0,01 \u00b5m bis 100 \u00b5m aufsp\u00fcren und analysieren. Au\u00dferdem k\u00f6nnen mit einem entsprechenden Detektor wie bei der Rasterelektronenmikroskopie Bilder erzeugt werden.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-4594\" title=\"Auger Elektronenspektrometer, basierend auf dem Auger Effekt (benannt nach Pierre Auger)\" src=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Auger-electron-spectrometer.jpg\" alt=\"Auger Elektronenspektrometer, entwickelt von Lise Meitner und Pierre Auger\" width=\"850\" height=\"676\" srcset=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Auger-electron-spectrometer.jpg 800w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Auger-electron-spectrometer-300x239.jpg 300w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Auger-electron-spectrometer-768x611.jpg 768w\" sizes=\"(max-width: 850px) 100vw, 850px\" \/><\/p>\n<h3>Sekund\u00e4rionen-Massenspektroskopie<\/h3>\n<p style=\"text-align: justify;\">Mit der Sekund\u00e4rionen-Massenspektroskopie (SIMS) l\u00e4sst sich die chemische Zusammensetzung einer Oberfl\u00e4che analysieren, indem sie mit Ionen beschossen wird. Diese Prim\u00e4rionen bleiben im Material stecken und setzen aus dem Material neben neutralen Teilchen eine geringe Menge Sekund\u00e4rionen frei. Detektoren erfassen die Flugzeit und energetische Parameter der Ionen. Die gemessenen Werte erlauben sehr genaue R\u00fcckschl\u00fcsse darauf, welche chemischen Stoffe an der Oberfl\u00e4che der Probe vorhanden sind und welchen Anteil sie an der Gesamtmasse haben. Das Verfahren wird beispielweise f\u00fcr die Untersuchung sehr d\u00fcnner Schichten eingesetzt. Au\u00dferdem lassen sich geringe Spuren von Verunreinigungen feststellen.<\/p>\n<figure id=\"attachment_4599\" aria-describedby=\"caption-attachment-4599\" style=\"width: 582px\" class=\"wp-caption aligncenter\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"wp-image-4599 size-full\" title=\"\u00c4lterer Sekund\u00e4rionen-Massenspektrometer\" src=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Secondary-ion-mass-spectrometry.jpg\" alt=\"\u00c4lterer Sekund\u00e4rionen-Massenspektrometer\" width=\"582\" height=\"416\" srcset=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Secondary-ion-mass-spectrometry.jpg 582w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Secondary-ion-mass-spectrometry-300x214.jpg 300w\" sizes=\"(max-width: 582px) 100vw, 582px\" \/><figcaption id=\"caption-attachment-4599\" class=\"wp-caption-text\">CC BY-SA 3.0, https:\/\/commons.wikimedia.org\/w\/index.php?curid=556117<\/figcaption><\/figure>\n<h3>Nukleare Reaktionsanalyse<\/h3>\n<p style=\"text-align: justify;\">Treffen schwere Ionen mit sehr gro\u00dfer Geschwindigkeit auf Atomkerne, geben diese radioaktive Strahlung ab. Je nach chemischem Element setzt sich die abgegebene Strahlung aus Alpha- und Gammastrahlung zusammen. Dieses Verhalten wird bei der Nuklearen Reaktionsanalyse genutzt. Die Ionen dringen dabei einige \u00b5m tief in die Probe ein. Die Auswertung der erzeugten Strahlung erm\u00f6glicht es der Oberfl\u00e4chenanalyse, vor allem die Art und den Anteil einzelner leichter chemischer Elemente in diesem Werkstoffbereich zu bestimmen. Auf diese Weise l\u00e4sst sich zum Beispiel herausfinden, wie sich bestimmte Atome durch Werkstoffoberfl\u00e4chen in das Material hineinbewegen (Diffusionsanalyse).<\/p>\n<figure id=\"attachment_4601\" aria-describedby=\"caption-attachment-4601\" style=\"width: 850px\" class=\"wp-caption aligncenter\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"wp-image-4601\" title=\"Der Teilchenbeschleuniger LHC (Large Hadron Collider) am Europ\u00e4ischen Kernforschungszentrum CERN \" src=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/cern-geneva-international-research-center.jpg\" alt=\"Der Teilchenbeschleuniger LHC (Large Hadron Collider) am Europ\u00e4ischen Kernforschungszentrum CERN \" width=\"850\" height=\"566\" srcset=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/cern-geneva-international-research-center.jpg 800w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/cern-geneva-international-research-center-300x200.jpg 300w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/cern-geneva-international-research-center-768x512.jpg 768w\" sizes=\"(max-width: 850px) 100vw, 850px\" \/><figcaption id=\"caption-attachment-4601\" class=\"wp-caption-text\">\u00a9 francescodemarco &#8211; stock.adobe.com<\/figcaption><\/figure>\n<h3>Infrarot-Spektroskopie<\/h3>\n<p style=\"text-align: justify;\">Die unterschiedlichen Verfahren der Infrarot-Spektroskopie beruhen auf der Wirkung von W\u00e4rmestrahlen auf Werkstoffe. Dringen diese in das Material ein, erh\u00f6ht sich die Temperatur. Die Molek\u00fcle schwingen schneller. Weil sie nur auf bestimmte Wellenl\u00e4ngenbereiche reagieren, l\u00e4sst sich aus der aufgenommenen bzw. hindurchgelassenen Strahlung ermitteln, aus welchen Stoffen das Material zusammengesetzt ist. Ein Teil der auftreffenden W\u00e4rmestrahlen wird von der Oberfl\u00e4che reflektiert. Auch die Menge der zur\u00fcckgestrahlten W\u00e4rme erlaubt R\u00fcckschl\u00fcsse auf bestimmte Werkstoffeigenschaften. Mit der Infrarot-Spektroskopie steht eine leistungsf\u00e4hige Methode der Oberfl\u00e4chenanalytik zur Verf\u00fcgung, die eine schnelle Oberfl\u00e4chenanalyse f\u00fcr organische Stoffe und Stoffgemische erm\u00f6glicht.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-4603\" title=\"FT-IR (Infrarot) Spektrometer \" src=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/FT-IR-Infrared-spectrometer-Varian-Scimitar-1000-FT-IR.jpg\" alt=\"FT-IR (Infrarot) Spektrometer \" width=\"850\" height=\"638\" srcset=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/FT-IR-Infrared-spectrometer-Varian-Scimitar-1000-FT-IR.jpg 640w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/FT-IR-Infrared-spectrometer-Varian-Scimitar-1000-FT-IR-300x225.jpg 300w\" sizes=\"(max-width: 850px) 100vw, 850px\" \/><\/p>\n<h3>Ellipsometrie<\/h3>\n<p style=\"text-align: justify;\">Die Ellipsometrie nutzt polarisiertes Licht, um beispielsweise die Oberfl\u00e4chenrauheit, die Materialzusammensetzung oder die Kristallinit\u00e4t von Werkstoffen zu bestimmen. Normales Licht schwingt in allen m\u00f6glichen Richtungen senkrecht zur Ausbreitungsrichtung. Werden nur bestimmte Schwingungsrichtungen realisiert, entsteht polarisiertes Licht. Wird es von Oberfl\u00e4chen reflektiert oder dringt es in Stoffe ein, \u00e4ndert sich die Polarisation. Es schwingt dann in anderen Richtungen. Diese bilden h\u00e4ufig die Form einer Ellipse, woraus die Bezeichnung dieses Verfahrens der Oberfl\u00e4chenanalyse resultiert. Aus der Messung des reflektierten bzw. hindurchgelassenen Lichtes lassen sich R\u00fcckschl\u00fcsse auf Werkstoffeigenschaften und Schichtdicken ziehen.<\/p>\n<figure id=\"attachment_4614\" aria-describedby=\"caption-attachment-4614\" style=\"width: 850px\" class=\"wp-caption aligncenter\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"wp-image-4614\" title=\"Messplatz mit einem Phasenmodulationsellipsometer \" src=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Ellipsometer.jpg\" alt=\"Messplatz mit einem Phasenmodulationsellipsometer \" width=\"850\" height=\"569\" srcset=\"https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Ellipsometer.jpg 800w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Ellipsometer-300x201.jpg 300w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Ellipsometer-768x515.jpg 768w, https:\/\/kluthe.com\/magazin\/wp-content\/uploads\/2023\/11\/Ellipsometer-110x75.jpg 110w\" sizes=\"(max-width: 850px) 100vw, 850px\" \/><figcaption id=\"caption-attachment-4614\" class=\"wp-caption-text\">Von Guillaume Paumier (user:guillom) &#8211; Eigenes Werk, CC BY-SA 3.0, https:\/\/commons.wikimedia.org\/w\/index.php?curid=3077435<\/figcaption><\/figure>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Mit den verschiedenen Verfahren der Oberfl\u00e4chenanalyse lassen sich chemische und strukturelle Eigenschaften der Oberfl\u00e4chen von Werkst\u00fccken ermitteln. 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